한백교역

적외선온도계 Pyrometer

모든 물질은 적외선 복사 에너지를 방출합니다. 방출하는 적외선 복사에너지를 감지하여 접촉하지 않고 온도를 측정합니다.

Sekidenko

OR4000T, OR4000E

50~3500℃
반응속도가 2kHz로 아주 Dynamic 한 반도체 공정용의 정확하고 아주 빠른 Multi-Channel온도계

• 2kHz 의 반응속도
• OR4000T: 1~4 Multi-Channel, RTP, Laser Annealing, MOCVD, ALD에 주로 사용
• OR4000E: 1~4 Multi-Channel의 실시간 방사율 모니터링하는 타입으로 CVD, Epi, MOCVD등 공정에 최적
• 다채널, 광케이블 타입